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1、工具振幅和頻率

要是振幅太大或頻率太高的話，會給工具和變幅桿造成很大的內應力，振幅通常是在 0.01~0.1mm之間，頻率在16000~25000Hz之間。 在實際加工的過程中需要按照不同工具對共振頻率進行調整，從而取得最大振幅，實現較高的加工速度。

2、進給壓力

在加工的時候，工具對工件都會有一個合適的進給壓力。當壓力太小的時候，工具端面和工件加工表面間的間隙會加大，進而降低磨料對工件的錘擊力； 當壓力增大的時候，間隙會減小，在間隙減小到一定程度的時候，磨料和工作液的循環更新速度就會降低，進而生產率也會降低。

3、磨料種類和粒度

在加工的時候，對于不同強度的工件材料可以選擇合適的磨料。要是磨料強度越高的話，加工速度就會越快，但是要考慮到價格成本。在對寶石、金剛石等超硬材料進行加工的時候，必須選擇金剛石；加工淬火鋼、硬質合金的時候，應該選擇碳化硼；在加工玻璃、石英和硅、鍺等半導體材料的時候，應該選擇氧化鋁磨料。

4、被加工材料

如果被加工材料越硬脆，那么承受沖擊載荷的能力就越低，越容易被去除加工，相反地，韌性越好，越不容易加工。

5、磨料懸浮液濃度

當磨料懸浮液濃度低的時候，加工間隙內的磨粒就少，尤其是在加工面積大、深度較大的時候，很有可能會導致加工區局部沒有磨料，大幅度降低了加工速度。而磨料濃度提升的話，加工速度也會隨之加快，但是濃度太高也不是不行的，因為磨粒在加工區域內會對循環運動和對工件的撞擊運動造成影響。